Research output per year
Research output per year
- 23 results
Search results
-
Article
TEM Study of AlN/Oxides (SiOx or AlxOy) Nanocomposite Films Prepared by a Differential Pumping Co-Sputtering System
Nose, M., Chiou, W. A., Takabatake, H., Satho, T., Kawabata, T. & Matsuda, K., 2012/07, In: Microscopy and Microanalysis. 18, p. 1696-1697 2 p.Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
3 Scopus citations -
Presentation
AlN/AlxOyナノ複相構造膜の微細構造と機械的性質
佐藤誉将, 前田晃広, 松田健二, Chiou, W.-A. & 野瀬正照, 2013.Research output: Contribution to conference › Presentation
-
AlN/AlxOyナノ複相構造膜の微細構造と機械的性質
佐藤誉将, 前田晃広, 松田健二, Chiou, W.-A. & 野瀬正照, 2013.Research output: Contribution to conference › Presentation
-
AlN/SiOxナノコンポジット膜の微細構造
佐藤誉将, 高畠浩史, 川畑常眞, 松田健二, Chiou, W.-A., 塩尻 詢 & 野瀬正照, 2012.Research output: Contribution to conference › Presentation
-
AlN/SiOxナノコンポジット膜の微細構造
佐藤誉将, 高畠浩史, 川畑常眞, 松田健二, Chiou, W.-A., 塩尻 詢 & 野瀬正照, 2012.Research output: Contribution to conference › Presentation
-
A Novel Technique of Fabricating Nitride/Oxide Nanocomposite Coatings - Using Differential Pumping Co-sputtering System-
Nose, M., Chiou, W.-A., TokimasaKawabata, Hatano, Y. & Matsuda, K., 2012.Research output: Contribution to conference › Presentation
-
A Novel Technique of Fabricating Nitride/Oxide Nanocomposite Coatings –Using Differential Pumping Co-sputtering System –
Nose, M., Chiou, W.-A., Kawabata, T., Hatano, Y. & Matsuda, K., 2012.Research output: Contribution to conference › Presentation
-
Microstructure and properties of AlN/SiOx nanocomposite films preparedby differential pumping co-sputtering system
Sato, T., Takabatake, H., Kawabata, T., K.Matsuda, Chiou, W.-A., Shiojiri, M. & Nose, M., 2012.Research output: Contribution to conference › Presentation
-
Microstructure and properties of AlN/SiOx nanocomposite films prepared by differential pumping co-sputtering system
Sato, T., Takabatake, H., Kawabata, T., Matsuda, K., Chiou, W.-A., Shiojiri, M. & Nose, M., 2012.Research output: Contribution to conference › Presentation
-
RF反応スパッタ法で作製したSiAlON薄膜の構造と機械的性質
松本和晃, 橋爪 隆, 佐伯 淳 & 野瀬正照, 2012.Research output: Contribution to conference › Presentation
-
RF反応スパッタ法で作製したSiAlON薄膜の構造と機械的性質
松本和晃, 橋爪 隆, 佐伯 淳 & 野瀬正照, 2012.Research output: Contribution to conference › Presentation
-
RF反応スパッタ法によるSiAlON膜の作製
松本和晃, 佐伯淳, 橋爪隆 & 野瀬正照, 2011.Research output: Contribution to conference › Presentation
-
RF反応スパッタ法によるSiAlON膜の作製
松本和晃, 佐伯淳, 橋爪隆 & 野瀬正照, 2011.Research output: Contribution to conference › Presentation
-
TEM Study of Aluminium Oxynitride Films Prepared by Reactive R. F.-Sputteirng
Lai, L.-C., Nose, M. & Chiou and A. Saiki, W.-A., 2011.Research output: Contribution to conference › Presentation
-
TEM Study of Aluminium Oxynitride Films Prepared by Reactive R. F.-Sputteirng
Lai, L.-C., Nose, M. & Chiou and A. Saiki, W.-A., 2011.Research output: Contribution to conference › Presentation
-
差動排気同時成膜法により作製した窒化物/酸化物ナノ複相構造膜の機械的特性と微細組織
佐藤誉将, 前田晃広, 松田健二, 塩尻 詢, An Chiou, W. & 野瀬正照, 2012.Research output: Contribution to conference › Presentation
-
差動排気同時製膜法により作製した窒化物/酸化物ナノ複相構造膜の機械的特性と微細組織
佐藤誉将, 前田晃広, 松田健二, 塩尻 詢, Chiou, W.-A. & 野瀬正照, 2012.Research output: Contribution to conference › Presentation
-
差動排気型2元同時成膜装置を用いたAlN/SiOxナノコンポジット膜の作製
佐藤誉将, 野瀬正照, 松田健二 & 他3名, 2012.Research output: Contribution to conference › Presentation
-
差動排気型2元同時成膜装置を用いたAlN／SiOxナノコンポジット膜の作製
佐藤誉将, 野瀬正照, 松田健二 & 他3名, 2012.Research output: Contribution to conference › Presentation
-
差動排気型2元同時成膜装置を用いた窒化物/酸化物ナノコンポジット膜作製
佐藤誉将, 野瀬正照, 松田健二 & 他4名, 2011.Research output: Contribution to conference › Presentation
-
差動排気型2元同時成膜装置を用いた窒化物／酸化物ナノコンポジット膜作製
佐藤誉将, 野瀬正照, 松田健二 & 他4名, 2011.Research output: Contribution to conference › Presentation
-
差動排気型同時成膜装置を用いたAlN/酸化物ナノコンポジット膜の機械的性質
佐藤誉将, 松田健二, 野瀬正照 & 他4名, 2011.Research output: Contribution to conference › Presentation
-
差動排気型同時成膜装置を用いたAlN/酸化物ナノコンポジット膜の機械的性質
佐藤誉将, 松田健二, 野瀬正照 & 他4名, 2011.Research output: Contribution to conference › Presentation