RF反応スパッタ法によるSiAlON膜の作製

松本和晃, 佐伯淳, 橋爪隆, 野瀬正照

Research output: Contribution to conference › Presentation

Original language	Japanese
State	Published - 2011
Externally published	Yes
Event	日本金属学会北陸信越支部・日本鉄鋼協会北陸信越支部　平成２３年度　連合講演会 - Duration: 2011/01/01 → …

Conference	日本金属学会北陸信越支部・日本鉄鋼協会北陸信越支部　平成２３年度　連合講演会
Period	2011/01/01 → …

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@conference{a89a343b2e324634ac8f0deb286ee3de,

title = "RF反応スパッタ法によるSiAlON膜の作製",

author = "松本和晃 and 佐伯淳 and 橋爪隆 and 野瀬正照",

year = "2011",

language = "日本",

note = "日本金属学会北陸信越支部・日本鉄鋼協会北陸信越支部　平成２３年度　連合講演会 ; Conference date: 01-01-2011",

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