差動排気型2元同時成膜装置を用いた窒化物／酸化物ナノコンポジット膜作製

佐藤誉将, 野瀬正照, 松田健二, 他4名

Research output: Contribution to conference › Presentation

Original language	Japanese
State	Published - 2011
Externally published	Yes
Event	日本金属学会2011年秋期（第149回）大会、沖縄コンベンションセンター - Duration: 2011/11/07 → …

Other	日本金属学会2011年秋期（第149回）大会、沖縄コンベンションセンター
Period	2011/11/07 → …

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@conference{06dc42705ca840f09068b7bba43e735b,

title = "差動排気型2元同時成膜装置を用いた窒化物／酸化物ナノコンポジット膜作製",

author = "佐藤誉将 and 野瀬正照 and 松田健二 and 他4名",

year = "2011",

language = "日本",

note = "日本金属学会2011年秋期（第149回）大会、沖縄コンベンションセンター ; Conference date: 07-11-2011",

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