差動排気型同時成膜装置を用いたAlN/酸化物ナノコンポジット膜の機械的性質

佐藤誉将, 松田健二, 野瀬正照, 他4名

Research output: Contribution to conference › Presentation

Original language	Japanese
State	Published - 2011
Externally published	Yes
Event	日本金属学会北陸信越支部・日本鉄鋼協会北陸信越支部平成23年度連合講演会 - Duration: 2011/01/01 → …

Conference	日本金属学会北陸信越支部・日本鉄鋼協会北陸信越支部平成23年度連合講演会
Period	2011/01/01 → …

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title = "差動排気型同時成膜装置を用いたAlN/酸化物ナノコンポジット膜の機械的性質",

author = "佐藤誉将 and 松田健二 and 野瀬正照 and 他4名",

year = "2011",

language = "日本",

note = "日本金属学会北陸信越支部・日本鉄鋼協会北陸信越支部平成23年度連合講演会 ; Conference date: 01-01-2011",

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