RF反応スパッタ法で作製したSiAlON薄膜の構造と機械的性質

松本和晃, 橋爪隆, 佐伯淳, 野瀬正照

Research output: Contribution to conference › Presentation

Original language	Japanese
State	Published - 2012
Externally published	Yes
Event	日本金属学会・日本鉄鋼協会北信越支部連合講演会 - Duration: 2012/01/01 → …

Conference	日本金属学会・日本鉄鋼協会北信越支部連合講演会
Period	2012/01/01 → …

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title = "RF反応スパッタ法で作製したSiAlON薄膜の構造と機械的性質",

author = "松本和晃 and {橋爪隆} and {佐伯淳} and 野瀬正照",

year = "2012",

language = "日本",

note = "日本金属学会・日本鉄鋼協会北信越支部連合講演会 ; Conference date: 01-01-2012",

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