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ユビキタス元素だけを用いた超耐酸化性・超硬質膜の創製
野瀬, 正照
(研究代表者)
松田, 健二
(連携研究者)
富山大学
概要
研究成果
(23)
研究成果
年別の研究成果
2011
2011
2012
2013
22
学会発表
1
学術論文
年別の研究成果
年別の研究成果
23 件
出版年、タイトル
(降順)
出版年、タイトル
(昇順)
タイトル
タイプ
検索結果
2013
AlN/AlxOyナノ複相構造膜の微細構造と機械的性質
佐藤誉将, 前田晃広, 松田健二, Chiou, W.-A. & 野瀬正照,
2013
.
研究成果
:
会議への寄与
›
学会発表
AlN/AlxOyナノ複相構造膜の微細構造と機械的性質
佐藤誉将, 前田晃広, 松田健二, Chiou, W.-A. & 野瀬正照,
2013
.
研究成果
:
会議への寄与
›
学会発表
2012
AlN/SiOxナノコンポジット膜の微細構造
佐藤誉将, 高畠浩史, 川畑常眞, 松田健二, Chiou, W.-A., 塩尻 詢 & 野瀬正照,
2012
.
研究成果
:
会議への寄与
›
学会発表
AlN/SiOxナノコンポジット膜の微細構造
佐藤誉将, 高畠浩史, 川畑常眞, 松田健二, Chiou, W.-A., 塩尻 詢 & 野瀬正照,
2012
.
研究成果
:
会議への寄与
›
学会発表
A Novel Technique of Fabricating Nitride/Oxide Nanocomposite Coatings - Using Differential Pumping Co-sputtering System-
Nose, M., Chiou, W.-A., TokimasaKawabata, Hatano, Y. & Matsuda, K.,
2012
.
研究成果
:
会議への寄与
›
学会発表
A Novel Technique of Fabricating Nitride/Oxide Nanocomposite Coatings –Using Differential Pumping Co-sputtering System –
Nose, M., Chiou, W.-A., Kawabata, T., Hatano, Y. & Matsuda, K.,
2012
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研究成果
:
会議への寄与
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学会発表
Microstructure and properties of AlN/SiOx nanocomposite films preparedby differential pumping co-sputtering system
Sato, T., Takabatake, H., Kawabata, T., K.Matsuda, Chiou, W.-A., Shiojiri, M. & Nose, M.,
2012
.
研究成果
:
会議への寄与
›
学会発表
Microstructure and properties of AlN/SiOx nanocomposite films prepared by differential pumping co-sputtering system
Sato, T., Takabatake, H., Kawabata, T., Matsuda, K., Chiou, W.-A., Shiojiri, M. & Nose, M.,
2012
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研究成果
:
会議への寄与
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学会発表
RF反応スパッタ法で作製したSiAlON薄膜の構造と機械的性質
松本和晃, 橋爪 隆, 佐伯 淳 & 野瀬正照,
2012
.
研究成果
:
会議への寄与
›
学会発表
RF反応スパッタ法で作製したSiAlON薄膜の構造と機械的性質
松本和晃, 橋爪 隆, 佐伯 淳 & 野瀬正照,
2012
.
研究成果
:
会議への寄与
›
学会発表
TEM Study of AlN/Oxides (SiOx or AlxOy) Nanocomposite Films Prepared by a Differential Pumping Co-Sputtering System
Nose, M., Chiou, W. A., Takabatake, H., Satho, T., Kawabata, T. &
Matsuda, K.
,
2012/07
,
In:
Microscopy and Microanalysis.
18
,
p. 1696-1697
2 p.
研究成果
:
ジャーナルへの寄稿
›
学術論文
›
査読
3
被引用数 (Scopus)
差動排気型2元同時成膜装置を用いたAlN/SiOxナノコンポジット膜の作製
佐藤誉将, 野瀬正照, 松田健二 & 他3名,
2012
.
研究成果
:
会議への寄与
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学会発表
差動排気型2元同時成膜装置を用いたAlN/SiOxナノコンポジット膜の作製
佐藤誉将, 野瀬正照, 松田健二 & 他3名,
2012
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研究成果
:
会議への寄与
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学会発表
差動排気同時成膜法により作製した窒化物/酸化物ナノ複相構造膜の機械的特性と微細組織
佐藤誉将, 前田晃広, 松田健二, 塩尻 詢, An Chiou, W. & 野瀬正照,
2012
.
研究成果
:
会議への寄与
›
学会発表
差動排気同時製膜法により作製した窒化物/酸化物ナノ複相構造膜の機械的特性と微細組織
佐藤誉将, 前田晃広, 松田健二, 塩尻 詢, Chiou, W.-A. & 野瀬正照,
2012
.
研究成果
:
会議への寄与
›
学会発表
2011
RF反応スパッタ法によるSiAlON膜の作製
松本和晃, 佐伯淳, 橋爪隆 & 野瀬正照,
2011
.
研究成果
:
会議への寄与
›
学会発表
RF反応スパッタ法によるSiAlON膜の作製
松本和晃, 佐伯淳, 橋爪隆 & 野瀬正照,
2011
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研究成果
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会議への寄与
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学会発表
TEM Study of Aluminium Oxynitride Films Prepared by Reactive R. F.-Sputteirng
Lai, L.-C., Nose, M. & Chiou and A. Saiki, W.-A.,
2011
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研究成果
:
会議への寄与
›
学会発表
TEM Study of Aluminium Oxynitride Films Prepared by Reactive R. F.-Sputteirng
Lai, L.-C., Nose, M. & Chiou and A. Saiki, W.-A.,
2011
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研究成果
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会議への寄与
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学会発表
差動排気型2元同時成膜装置を用いた窒化物/酸化物ナノコンポジット膜作製
佐藤誉将, 野瀬正照, 松田健二 & 他4名,
2011
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研究成果
:
会議への寄与
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学会発表
差動排気型2元同時成膜装置を用いた窒化物/酸化物ナノコンポジット膜作製
佐藤誉将, 野瀬正照, 松田健二 & 他4名,
2011
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研究成果
:
会議への寄与
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学会発表
差動排気型同時成膜装置を用いたAlN/酸化物ナノコンポジット膜の機械的性質
佐藤誉将, 松田健二, 野瀬正照 & 他4名,
2011
.
研究成果
:
会議への寄与
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学会発表
差動排気型同時成膜装置を用いたAlN/酸化物ナノコンポジット膜の機械的性質
佐藤誉将, 松田健二, 野瀬正照 & 他4名,
2011
.
研究成果
:
会議への寄与
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学会発表