| 本文言語 | 日本 |
|---|---|
| 出版ステータス | 出版済み - 2011 |
| 外部発表 | はい |
| イベント | Microscopy and Microanalysis 2011 - 継続期間: 2011/01/01 → … |
学会
| 学会 | Microscopy and Microanalysis 2011 |
|---|---|
| Period | 2011/01/01 → … |
TEM Study of Aluminium Oxynitride Films Prepared by Reactive R. F.-Sputteirng
L-C. Lai, M. Nose, W-A. Chiou and A. Saiki
研究成果: 会議への寄与 › 学会発表