| 本文言語 | 日本 |
|---|---|
| 出版ステータス | 出版済み - 2012 |
| 外部発表 | はい |
| イベント | 日本金属学会2012年春期大会 - 継続期間: 2012/01/01 → … |
学会
| 学会 | 日本金属学会2012年春期大会 |
|---|---|
| Period | 2012/01/01 → … |
差動排気型2元同時成膜装置を用いたAlN／SiOxナノコンポジット膜の作製
佐藤誉将, 野瀬正照, 松田健二, 他3名
研究成果: 会議への寄与 › 学会発表
佐藤誉将, 野瀬正照, 松田健二, 他3名
研究成果: 会議への寄与 › 学会発表
| 本文言語 | 日本 |
|---|---|
| 出版ステータス | 出版済み - 2012 |
| 外部発表 | はい |
| イベント | 日本金属学会2012年春期大会 - 継続期間: 2012/01/01 → … |
| 学会 | 日本金属学会2012年春期大会 |
|---|---|
| Period | 2012/01/01 → … |