ユビキタス元素だけを用いた超耐酸化性・超硬質膜の創製

野瀬, 正照 (研究代表者)
松田, 健二 (連携研究者)

富山大学

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2012

TEM Study of AlN/Oxides (SiOx or AlxOy) Nanocomposite Films Prepared by a Differential Pumping Co-Sputtering System
Nose, M., Chiou, W. A., Takabatake, H., Satho, T., Kawabata, T. & Matsuda, K., 2012/07, In: Microscopy and Microanalysis. 18, p. 1696-1697 2 p.
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