プロジェクトの詳細
研究開始時の研究の概要
(2) プラズマの損失過程・電子温度から，最大効率(目標値：3%)のレーザー照射条件を示す．
| ステータス | 終了 |
|---|---|
| 有効開始/終了日 | 2022/04/01 → 2025/03/31 |
資金調達
- Japan Society for the Promotion of Science: ￥4,160,000
キーワード
- レーザー生成プラズマ
- 極端紫外
- EUV
- B-EUV (beyond EUV)
- レーザー生成プラスマ
- 極端紫外光源
- beyond EUV (BEUV)