Deposition of novel nanocomposite films by a newly developed differential pumping co-sputtering system

Masateru Nose*, Takeshi Kurimoto, Atsushi Saiki, Kenji Matsuda, Kiyoshi Terayama

*この論文の責任著者

研究成果: ジャーナルへの寄稿 › 学術論文 › 査読

10 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Deposition of novel nanocomposite films by a newly developed differential pumping co-sputtering system」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Keyphrases

Engineering

Material Science