Dependence of NO2 gas sensitivity of WO3 sputtered films on film density

Cheng Ji Jin, Toshinari Yamazaki*, Yashuyoshi Shirai, Toshio Yoshizawa, Toshio Kikuta, Noriyuki Nakatani, Humio Takeda

*この論文の責任著者

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術論文査読

47 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Dependence of NO2 gas sensitivity of WO3 sputtered films on film density」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Keyphrases

Material Science

Engineering

Chemical Engineering