ＲＦ反応スパッタ法により作製したAlN/SiCN膜の耐酸化性

長江和樹, 中伏裕太, 松田健二, 野瀬正照

研究成果: 会議への寄与 › 学会発表

本文言語	日本
出版ステータス	出版済み - 2013
外部発表	はい
イベント	日本金属学会・日本鉄鋼協会平成25年度北信越支部連合大会 - 継続期間: 2013/01/01 → …

学会	日本金属学会・日本鉄鋼協会平成25年度北信越支部連合大会
Period	2013/01/01 → …

引用スタイル

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author = "長江和樹 and 中伏裕太 and 松田健二 and 野瀬正照",

year = "2013",

language = "日本",

note = "日本金属学会・日本鉄鋼協会平成25年度北信越支部連合大会 ; Conference date: 01-01-2013",

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