| Original language | Japanese |
|---|---|
| State | Published - 2013 |
| Externally published | Yes |
| Event | 日本金属学会・日本鉄鋼協会平成25年度北信越支部連合大会 - Duration: 2013/01/01 → … |
Conference
| Conference | 日本金属学会・日本鉄鋼協会平成25年度北信越支部連合大会 |
|---|---|
| Period | 2013/01/01 → … |
ＲＦ反応スパッタ法により作製したAlN/SiCN膜の耐酸化性
長江和樹, 中伏裕太, 松田健二, 野瀬正照
Research output: Contribution to conference › Presentation