バレルスパッタリング法による複雑な形状をもつ製品体への表面コーティング

北見知士 他

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術論文査読

本文言語日本
ページ(範囲)41-46
ジャーナル富山大学水素同位体科学研究センター研究報告 24
出版ステータス出版済み - 2004
外部発表はい

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