バレルスパッタリング法による複雑な形状をもつ製品体への表面コーティング

北見知士 他

Research output: Contribution to journalArticlepeer-review

Original languageJapanese
Pages (from-to)41-46
Journal富山大学水素同位体科学研究センター研究報告 24
StatePublished - 2004
Externally publishedYes

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