Original language | Japanese |
---|---|
Pages (from-to) | 41-46 |
Journal | 富山大学水素同位体科学研究センター研究報告 24 |
State | Published - 2004 |
Externally published | Yes |
バレルスパッタリング法による複雑な形状をもつ製品体への表面コーティング
北見知士 他
Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
北見知士 他
Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
Original language | Japanese |
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Pages (from-to) | 41-46 |
Journal | 富山大学水素同位体科学研究センター研究報告 24 |
State | Published - 2004 |
Externally published | Yes |