窒化物微結晶の高温分解過程解明による超耐熱性多元系窒化物ナノ複相構造膜の創製

多元系金属窒化物微結晶相として，窒化物の熱安定性の観点から選択した3元合金窒化物(MEN)相と、「非晶質構成元素の結晶相への溶解」が生じ難い安定な非晶質相を組み合わせ、得られた膜の分解過程における微細組織の詳細な観察を行う。高温安定性を得るための主要因を検討するとともに，高温でも化学的に安定な「多元系窒化物（MEN）ナノ複相構造膜」を得る。得られた結果を基に「多元系金属窒化物微結晶相と非晶質相」とからなる熱安定性と耐酸化性に優れた「多元系窒化物（HEN, MEN）ナノ複相構造膜」創製のための指導原理を得る。