Creation of ultra heat-resistant multicomponent nitride nano duplex structure films by analyzing the high-temperature decomposition process of nitride microcrystalline.

多元系金属窒化物微結晶相として，窒化物の熱安定性の観点から選択した3元合金窒化物(MEN)相と、「非晶質構成元素の結晶相への溶解」が生じ難い安定な非晶質相を組み合わせ、得られた膜の分解過程における微細組織の詳細な観察を行う。高温安定性を得るための主要因を検討するとともに，高温でも化学的に安定な「多元系窒化物（MEN）ナノ複相構造膜」を得る。得られた結果を基に「多元系金属窒化物微結晶相と非晶質相」とからなる熱安定性と耐酸化性に優れた「多元系窒化物（HEN, MEN）ナノ複相構造膜」創製のための指導原理を得る。