ペンデル振動にもとづく靜的デバイクラ-因子測定による結晶評価法の研究

6.結晶傾斜法で必要な1/μ程度の試料厚さを得るために,GaAs結晶を化学エッチで薄片化する装置を作成した。(μはX線に対する吸収係数)これを用いて,0.3mm厚さの結晶板の中央に直径16mm,厚さ50〜60μmの薄片部(厚さバラツキ土1μm以上)をもつ試料を作る技術を開発した。