Out-of-plane growth behavior of aluminum nitride film on amorphous substrate by pulsed laser deposition

活動: 講演またはプレゼンテーション › 研究発表

期間2011/05/27 → 2011/05/28
イベント タイトル電気学会プラズマ研究会(2011.5)
イベント タイプその他