共鳴トンネル発振器を用いた周波数ΔΣ変調方式走査型プローブ顕微鏡

本研究は、共鳴トンネルTHz帯発振器を用いた周波数ΔΣ変調(FDSM)方式に基づく新しいセンサ技術を開拓するものである。FDSM方式は、高ダイナミックレンジを特徴とするΔΣアナログ－デジタル変換器のコアであるΔΣ変調器を、電圧制御発振器(VCO)を用いて実現する方法である。このVCOを外部物理量で周波数が変化する発振器に置き換えれば、高性能なデジタル出力センサが実現できる。このセンサの性能は、発振周波数に強く依存するため、共鳴トンネル素子を用いればこれまでにない高性能化が期待できる。ここでは、特に、THz領域の走査型近接場顕微鏡の実現を重要なターゲットとして研究を進める。