Cr(Al)N/Al2O3 Superhard Coatings Prepared by Differential Pumping Cosputtering: Structure and Mechanical Properties
Masahiro Kawasaki*, Masateru Nose, Ichiro Onishi, Kenji Matsuda, Makoto Shiojiri
*この論文の責任著者
研究成果: ジャーナルへの寄稿 › 学術論文 › 査読
1
被引用数
(Scopus)