AlN/SiCN複合膜の機械的性質に及ぼす熱処理の影響

長江和樹,  中伏裕太, 松田健二, 野瀬正照

研究成果: 会議への寄与学会発表

本文言語日本
出版ステータス出版済み - 2014
外部発表はい
イベント日本金属学会2014年秋期講演大会(第155回大会) -
継続期間: 2014/01/01 → …

学会

学会日本金属学会2014年秋期講演大会(第155回大会)
Period2014/01/01 → …

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