AlN/SiCN複合膜の機械的性質と構造に及ぼす熱処理の影響

長江和樹, 　中伏裕太, 松田健二, 野瀬正照

研究成果: 会議への寄与 › 学会発表

本文言語	日本
出版ステータス	出版済み - 2014
外部発表	はい
イベント	日本金属学会北陸信越支部・日本鉄鋼協会北陸信越支部平成26年度連合講演会 - 継続期間: 2014/12/06 → …

その他	日本金属学会北陸信越支部・日本鉄鋼協会北陸信越支部平成26年度連合講演会
Period	2014/12/06 → …

引用スタイル

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title = "AlN/SiCN複合膜の機械的性質と構造に及ぼす熱処理の影響",

author = "長江和樹 and 　中伏裕太 and 松田健二 and 野瀬正照",

year = "2014",

language = "日本",

note = "日本金属学会北陸信越支部・日本鉄鋼協会北陸信越支部平成26年度連合講演会 ; Conference date: 06-12-2014",

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