金属箔プレス品の多層積層低温拡散接合による金属MEMSの製造技術 (特集 素形材加工のマイクロ化への動向)

金属箔プレス品の多層積層低温拡散接合による金属MEMSの製造技術 (特集素形材加工のマイクロ化への動向)

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title = "金属箔プレス品の多層積層低温拡散接合による金属MEMSの製造技術 (特集素形材加工のマイクロ化への動向)",

author = "智美白鳥",

year = "2017",

month = jun,

language = "日本",

volume = "58",

pages = "14--18",

journal = "素形材",

issn = "0910-1985",

publisher = "素形材センター",

number = "6",

}