野瀬正照 (考案者), 栗本猛 (考案者), 池野進 (考案者), 寺山清志 (考案者), 佐伯淳 (考案者)
研究成果: 工業所有権 › 特許
}
TY - PAT
T1 - 複合膜の成膜装置及び成膜方法
AU - 野瀬正照,
AU - 栗本猛,
AU - 池野進,
AU - 寺山清志,
AU - 佐伯淳,
PY - 2011
Y1 - 2011
M3 - 特許
ER -