マイクロせん断加工におけるデジタル位置合わせによるナノメートル精度化の効果 (特集 素形材加工のマイクロ化への動向)

マイクロせん断加工におけるデジタル位置合わせによるナノメートル精度化の効果 (特集素形材加工のマイクロ化への動向)

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TY - JOUR

T1 - マイクロせん断加工におけるデジタル位置合わせによるナノメートル精度化の効果 (特集素形材加工のマイクロ化への動向)

AU - 白鳥, 智美

PY - 2017/6

Y1 - 2017/6

UR - https://cir.nii.ac.jp/crid/1524232505600594048

M3 - 学術論文

SN - 0910-1985

VL - 58

SP - 7

EP - 13

JO - 素形材

JF - 素形材

IS - 6

ER -