トライボナノリソグラフィーと化学エッチングを併用した単結晶シリコンのマイクロファブリケーション(微細構造の高精細化に関する検討)

川堰宣隆, 森田昇, 山田茂, 高野登, 大山達雄, 芦田極

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TY - JOUR

T1 - トライボナノリソグラフィーと化学エッチングを併用した単結晶シリコンのマイクロファブリケーション(微細構造の高精細化に関する検討)

AU - 川堰宣隆,

AU - 森田昇,

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AU - 高野登,

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PY - 2004

Y1 - 2004

M3 - 学術論文

SP - 456

EP - 461

JO - 砥粒加工学会誌 48,8

JF - 砥粒加工学会誌 48,8

ER -