多機能型ダイヤモンドツールの開発とマイクロ・ナノスケール加工への応用に関する研究

本研究は、各種の極微細加工用の高精度多機能型ダイヤモンドツールの開発とマイクロ・ナノスケール加工への応用化を目的としている。まず、高速にダイヤモンドを合成できる装置を設計・試作し、緻密なダイヤモンドチップを得ることができた。つぎにこのチップを精度よくシャンクに装着するための装置を試作し、高精度のダイヤモンドツールを作製することができた。このツールを用いて加工実験を行い、数μmスケールの微細加工が可能であることを検証した。