多機能光触媒スパッタ薄膜の形成と環境材料への応用

太陽エネルギーを有効に利用するには、TiO_2薄膜の光吸収端波長を350nmよりも長波長側へシフトすること、薄膜の微細構造をポーラスな形態にすること、などが必要であり、形成膜の光吸収の波長依存性をプラズマ中の荷電粒子による基板衝撃作用により改善でき、有効な薄膜形成法であることが示された。