加工用カンチレバーを用いたSPM援用高アスペクト比微細V溝曲面加工に関する研究

本研究では、サブμmの溝幅かつ90°より小さい挟角の微細V溝加工に有用なダイヤモンド工具の開発と応用化を目的としている。試作した鋭い先端角の切れ刃を有するカンチレバーにより、高アスペクト比の微細V溝加工が可能であった。能率の高い加工を実現するため、たわみ剛性の異なる3本のレバーを有するマルチカンチレバーを試作し、引き切り加工実験や凹加工実験から個々のレバーの加工特性を評価した。