コプレーナ導波路を用いた液晶ハイブリッド化ミリ波制御デバイスに関する研究

平板型の優れた高周波導波路の中でも集積化に有利な電極構造を有するコプレーナ導波路(CPW)に注目し、液晶ミリ波位相変調器を実現する試みを行った。CPW基板上にスペーサを介して適当な大きさの電極基板を積層する事により、通常の液晶デバイスと同じサンドイッチ型のセル構造を簡単に導入できるため、液晶を集積化した位相変調器が容易に実現できる事を実験的に示した。また、FDTD解析によってその動作特性を詳しく調べると共に、上部電極構造、誘電体基板等の最適化により50GHz程度までの良好な位相変調特性が実現された。