軽元素分析多機能電子顕微鏡トータルシステム

真空中で電子を加速して走らせて試料に照射すると、薄い試料なら電子が透過して写真に様々な情報を伝える影（コントラスト）を映し出します。影絵ですから、試料内部の状態がX線で身体の内部を見るようにも分かりますが、相手によって複雑な影絵を生み、光の波が回折して色々な模様を作るように非常に綺麗な模様を作ります。これは原子の配列、結晶構造に寄因します。
また、本装置には微小部分の元素分析を行う装置も付属しています。周期律表の炭素（C）元素より重い元素が分析できるエネルギー分散型検出器を使用しているため、コンピュータ上で定量分析できる使いやすい装置となっています。
固体の薄膜であれば何でも観察、分析が可能ですが、薄膜の作製法に慣れと注意が必要です。いい加減な試料づくりではデータは取れません。相手が原子配列の直接観察という超微小構造の観察・解析ですから汚れがあったり損傷していたりすると目視では見えなくても電子顕微鏡内では大変大きな像となってしまい、画像の解釈ができなくなります。高真空中ですから汚れが蒸発すると装置を傷めます。
通常は電気化学的手法で試料を作りますが、導電性の少ない半導体やセラミックスはイオンミリング装置やFIB装置で試料づくりが可能です。特に劈開性を持つ試料は砕くだけで試料となるので試料づくりが簡単です。