クイックカーボンコーター

真空中でカーボンを高温に加熱して蒸発させ、電極直下に設置した試料の表面にカーボン被膜を作製する装置。導電性のない試料のSEMやEPMAでの観察の際の前処理として使われる。カーボンは二次電子放出率がやや小さいとされるが、他のコーテイングと比べて原子番号が小さく、Kα線が他原子と重なりにくく、さらに付きまわりも良いことから反射電子像観察や元素分析を行う際には好適であり、二次電子像観察の際にはカーボン粒子は見えない。高真空でのフラッシュ式蒸着法を採用しており、個人差の少ないカーボン蒸着が可能。蒸着作業時毎のカーボン棒の研削が不要。〇管理者から操作方法を教授された利用者のみ使用可能。予約は不要。