Microstructure and properties of AlN/SiOx nanocomposite films prepared by diffe-rential pumping co-sputtering system

活動: 講演またはプレゼンテーション › 研究発表

期間2012/09/10 → 2012/09/13
イベント タイトル9th Polish-Japanese Joint Seminar on Micro and Nano Analysis, 10-13 September 2012 Sieniawa, Poland
イベント タイプその他