Fabrication of TaN Thin Film on Si(100), Glass Substrate by Reactive Sputtering at Low Vacuum Condition

活動: 講演またはプレゼンテーション › 研究発表

期間2009/08/10 → 2009/08/14
イベント タイトルThe 4th Czech- Japan-China Cooperative Symposium on Nanostructure of Advanced Materials and Nanotechnology
イベント タイプその他