AlN/Al2O3積層膜の構造に及ぼすスパッタ条件の影響

坪田正道, 佐藤誉将, 後藤慎弥, 足立佳亮, 松田健二, 野瀬正照

Research output: Contribution to conference › Presentation

Original language	Japanese
State	Published - 2014
Externally published	Yes
Event	日本金属学会北陸信越支部・日本鉄鋼協会北陸信越支部平成26年度連合講演会 - Duration: 2014/12/06 → …

Other	日本金属学会北陸信越支部・日本鉄鋼協会北陸信越支部平成26年度連合講演会
Period	2014/12/06 → …

Cite this

@conference{6bf636ea71ed46eab2bd78147873d6af,

title = "AlN/Al2O3積層膜の構造に及ぼすスパッタ条件の影響",

author = "坪田正道 and 佐藤誉将 and 後藤慎弥 and 足立佳亮 and 松田健二 and 野瀬正照",

year = "2014",

language = "日本",

note = "日本金属学会北陸信越支部・日本鉄鋼協会北陸信越支部平成26年度連合講演会 ; Conference date: 06-12-2014",

}

TY - CONF

T1 - AlN/Al2O3積層膜の構造に及ぼすスパッタ条件の影響

AU - 坪田正道,

AU - 佐藤誉将,

AU - 後藤慎弥,

AU - 足立佳亮,

AU - 松田健二,

AU - 野瀬正照,

PY - 2014

Y1 - 2014

M3 - 学会発表

T2 - 日本金属学会北陸信越支部・日本鉄鋼協会北陸信越支部平成26年度連合講演会

Y2 - 6 December 2014

ER -