高強度パルス重イオンビームを用いた低損傷イオン注入法に関する研究

本研究では、ガスプラズマガンをイオン源に用いたパルス重イオンビーム源を開発したことで元素が気体である各種イオン種のイオンビーム発生は可能となり、ビーム純度の問題はあるが炭化ケイ素材料へのn型ドーパントに対応できるようになった。一方、p型のドーパント元素の多くが固体であることから、固体をイオン源とする大電流パルスイオンビーム発生技術が必要となるので、p型のドーパントとして機能するアルミニウムイオンビームを発生させるための真空アーク放電を利用した同軸プラズマガンのイオン源の開発も行ったので、今後はパルス重イオンビーム発生装置に組み込んでp型ドーパント用パルスイオンビーム発生技術の開発を行う予定である。