X線光電子分光分析装置

固体試料にX線を照射すると、試料最表面から光電子が放出されます。光電子の運動エネルギーを光電子アナライザーで分析し、結合エネルギー（束縛エネルギー）を求めることができます。結合エネルギーは元素や元素の軌道、化学状態によって異なるので、得られるスペクトルの解析から、どのような元素がどれくらい含まれているのかがわかります（定性・定量分析）。また各元素の化学状態（結合状態）もわかります。 ○3 mm以下の厚さの固体試料を測定できます。揮発成分のない試料に限ります。
○XPSは表面感度が非常に高く、超高真空中で分析します。樹脂や繊維で保管した試料では、表面が汚染されてしまいます。少なくとも、手で触れることは避けて下さい。手袋を着用し、ピンセットを必ず使用して下さい。測定面はピンセットでも触れないでください。できれば、自身専用のピンセット・手袋を準備してください。
○表面汚染の低減のために、試料調製から測定までは速やかに行ってください。
○粉末試料の場合、減圧にかなりの時間を要します。測定時にはチャージアップの影響を受けやすいので、中和銃を使用しましょう。試料は可能な限り、平たんに設置しましょう。