低エネルギーイオンミリング装置

ダメージのない高品質の透過型電子顕微鏡（TEM）用試料を作製するためのイオンミリング装置です。特許技術のTrueFocusイオン源は、広範な加速電圧に対して細いビーム径を維持します。イオンビームの加速電圧は100eV～10keVの範囲で、ミリング角度は-15°～+10°の範囲で任意に設定出来ますので、試料の高速ミリングから最終ポリッシングまであらゆる工程でご利用頂けます。ロードロック機構（予備排気室）を搭載しており、試料の出し入れを迅速に行うことが可能です。